기업조회

본문 바로가기 주메뉴 바로가기

장비 및 시설 기본정보

3D측정기

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 나노시스템
모델명 개발장비
장비사양
취득일자 2008-05-31
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 삼성테크윈
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 F201
표준분류명
시설장비 설명 광간섭을 이용한 3차원 표면형상측정장비

-. 단색파장광을 이용한 광위상 간섭측정법과 격자간 간섭을 이용한 모아레 측정법을 사용하여
높은 분해능으로 고속 자동측정이 가능토록 한 장비
-. 평면방향으로는 기존 광학식 현미경의 분해능과 동등한 수준이나 광축인 수직방향으로는 nm이하의 분해능을 가지며
수nm 에서 수백um 까지의 다양한 높이를 높은 분해능으로 측정할 수 있으며
특히 카메라를 통하여 보이는 영역의 높이분포를 한번에 측정할 수 있는 특징을 가짐
-. 응용분야는 기판상의 비아홀 패드형상 표면 거칠기 측정 등에 이용할 수 있으며
측정환경 사용자 설정 및 측정결과 자동저장 통계해석 등이 가능한 장비임
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125192323.jpg
장비위치주소 경남 창원시 성주동 42번지 삼성테크윈
NFEC 등록번호 NFEC-2011-01-136853
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024122
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)