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도포 장치 및 도포 시스템

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기관명	NDSL
출원인	후지필름 가부시키가이샤
출원번호	10-2020-7020671
출원일자	2020-07-16
공개번호	20200827
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	하나의 바로 적어도 2종의 도포액을 동시에 스트라이프상으로 패턴 도포하는 도포 장치 및 도포 시스템을 제공한다. 도포 장치는 특정 주행 방향으로 연속 주행하는 장척의 기판 중 적어도 일방의 면에 도포액을 개재하여 접촉하여 회전하는, 주행 방향과 직교하는 폭방향으로 뻗는 장척의 바와, 바에 대하여 기판의 주행 방향의 상류에 마련되며, 도포액을 바와의 사이를 통과시켜, 기판의 주행 방향으로 유통시키는 언판을 갖는다. 도포 장치는 바를 회전 가능하게 지지하는 본체 블록과, 바의 길이 방향을 따라 배치된, 복수의 언판과, 언판마다 마련되며, 언판에 도포액을 공급하는 복수의 공급부를 갖는다. 도포 시스템은 도포 장치를, 기판을 사이에 두고 대향하여 배치하고, 기판의 양방의 면에 동시에 패턴상으로 도포액을 도포한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207020671
첨부파일

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