| 기업공감원스톱서비스

처리액 토출 배관 및 기판 처리 장치

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 스크린 홀딩스
출원번호	10-2020-7020672
출원일자	2020-07-16
공개번호	20200820
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	(과제) 토출구에 있어서의 액적 낙하를 방지하는 처리액 토출 배관, 및, 당해 처리액 토출 배관을 구비한 기판 처리 장치를 제공한다. (해결 수단) 처리액 토출 배관 (41) 은, 처리액이 유통하는 유로 (44) 를 내부에 갖고, 유로 (44) 를 유통하는 처리액을, 토출구 (41A) 로부터 기판 표면에 토출한다. 유로 (44) 는, 벽면의 적어도 일부가 친수성인 친수성 유로, 제 2 배관 유로 (442) 를 갖는다. 처리액 토출 배관 (41) 이 기판 처리 장치에 장착된 상태에 있어서, 제 2 배관 유로 (442) 는, 연직 방향에 대하여 경사지고, 상류측의 단부가 하류측의 단부보다 높게 위치한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207020672
첨부파일

기업조회