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하전 입자선 장치 및 화상 해석 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
출원번호	10-2013-7018947
출원일자	2013-07-18
공개번호	20131011
공개일자	2015-11-06
등록번호	10-1567178-0000
등록일자	2015-11-02
권리구분	KPTN
초록	주사 전자 현미경에 있어서, 장치 내 및 장치 외부로부터의 자장이나 진동 등의 영향에 의해, SEM 화상에 장애가 발생한 경우, 그 SEM 화상을 사용하여 간단하게 고정밀도로 원인을 특정하는 것을 목적으로 한다.또한, SEM 화상의 패턴의 거칠기(roughness)에 계측 정밀도가 영향을 받지 않는 측정 방법을 목적으로 한다.SEM 화상 취득시에 Y 방향의 주사 게인을 제로로 함으로써, 주사선 방향(X 방향)으로 1차원 주사를 행함과 함께, 상기 주사에 의해 얻어지는 화상 정보를, Y 방향으로 시계열적으로 배열함으로써, 2차원 화상을 작성한다.상관 함수에 의해, 상기 2차원 화상의 어긋남량(displacement) 데이터를 취득하고, 상기 데이터를 주파수 해석함으로써 화상 중에 포함되는 자장이나 진동 등을 측정한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020137018947
첨부파일

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