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반도체 샘플의 계측을 수행하기 위한 타원편광 측정기 장치

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이 코포레이션
출원번호	10-2020-7019773
출원일자	2020-07-08
공개번호	20200716
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	장치는, (i) 딥(deep) 자외선 파장으로부터 적외선 파장까지의 범위를 가지고 선택가능한 다수의 파장에서 조명 빔을 제공하기 위한 밝은 광원, (ii) 입사각(AOI) 및/또는 방위각(AZ)의 선택가능한 세트와 복수의 편광 상태에서 샘플을 향해 조명 빔을 지향시키기 위한 조명 광학장치 - 조명 광학 장치는, 선택가능한 AOI/AZ 세트의 각각에서 샘플에 대한 조명 빔의 스팟 사이즈를 제어하기 위한 아포다이저를 포함함 - , (iii) 선택가능한 AOI/AZ 세트와 편광 상태의 각각에서 조명 빔에 응답하여 샘플로부터의 출력 빔을, 출력 빔에 기초하여 출력 신호 또는 이미지를 생성하는 검출기를 향해 지향시키기 위한 수집 광학장치, (iv) 출력 신호 또는 이미지에 기초한 샘플의 피쳐의 특성을 묘사하기 위한 검출기를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207019773
첨부파일

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