| 초록 |
본 발명은 증착설비 내의 히터블록의 위치측정장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition) 설비 등과 같은 히터블록이 구비되는 설비에 있어서 상기 히터블록의 위치를 조절하는 장치에 관한 것이다. 본 발명은 원형의 판상으로 마련되고, 단부가 상기 반응챔버 내벽에 거치되어 저면이 상기 히터블록의 상측면에 일정하게 이격되도록 마련되는 프레임; 및 상기 프레임의 일측면에 다수로 설치되고, 상기 프레임을 관통하는 탐침이 상기 히터블록의 상측면에 접하도록 마련되고, 상기 히터블록과 상기 프레임의 저면부와의 간격이 측정되어 표시되는 디스플레이부를 포함하는 인디케이터를 포함하는 히터블록 위치측정장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명에 따른 히터블록 위치측정장치에 의하면, 별도의 새로운 화학기상증착 설비를 구매함 없이 기존의 설비를 유지하면서 정확한 보정 작업을 할 수 있다. 또한 반응챔버 내의 센서가 오염되는 문제를 방지할 수 있다. 또한 숙련자가 아니라도 쉽게 히터블록의 교체 및 보정 작업을 할 수 있다. |
