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하드 마스크 코팅을 사용한 그래핀 패터닝

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기관명	NDSL
출원인	나노메디컬 다이아그노스틱스 인코포레이티드
출원번호	10-2019-7001157
출원일자	2019-01-14
공개번호	20190228
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	개시된 기술의 실시양태는 리소그래피 패터닝 기술을 사용하여 바이오 센서 및 전자 제품을 위한 그래핀 시트를 패터닝하는 것을 포함한다. 보다 구체적으로, 본 발명은 하드 마스크 금속 층을 갖는 그래핀 시트를 패터닝하는 방법에 관한 것이다. 상기 하드 마스크 금속 층은, 패터닝 공정 동안 그래핀 시트가 오염되거나 손상되는 것으로부터 보호될 수 있는 불활성 금속을 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020197001157
첨부파일

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