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기화기 및 그 제조 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 웰콘
출원번호	10-2021-7031613
출원일자	2021-09-30
공개번호	20211110
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	[과제] 원료 미스트를 치밀한 온도 관리하에 가열하는 것이 가능하기 때문에, 원하는 온도로 조정되며, 또한 온도의 불균일이 매우 적은 기체 원료를 얻을 수 있고, 나아가 석출물을 거의 발생시키지 않는 기화기의 제공. [해결수단] 원료 미스트를 가열하여 기화시킴으로써 성막용의 기체 원료를 얻는 기화기로서, 상기 원료 미스트가 유통하는 제1 유로 및 상기 원료 미스트를 가열하는 열매체가 유통하는 제2 유로를 금속 재료로 이루어지는 주부의 내부에 가지며, 상기 제1 유로의 단면의 등면적 원 상당직경이 5mm 이하, 상기 제2 유로의 단면의 등면적 원 상당직경이 2mm 이하이고, 상기 주부의 내부에 있어서 하나의 제1 유로와, 그 이웃에 존재하는 다른 제1 유로의 사이에, 제2 유로 이외의 공극이 존재하지 않는, 성막용의 기체 원료를 얻는 기화기.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020217031613
첨부파일

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