| 기업공감원스톱서비스

기판 제조 동안 프로세스 챔버 파라미터들을 조절하기 위한 방법들 및 메커니즘들

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2024-7024388
출원일자	2024-07-19
공개번호	20240829
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	프로세스 레시피에 따라 기판 상에 퇴적 프로세스를 수행하는 프로세스 챔버 내에 위치된 계측 장비를 사용하여 생성된 계측 데이터를 획득할 수 있는 전자 디바이스 제조 시스템으로서, 프로세스 레시피는 복수의 세팅 파라미터를 포함하고, 퇴적 프로세스는 기판의 표면 상에 복수의 필름 층을 생성한다.제조 시스템은 추가로 계측 데이터에 기초하여 수정 프로파일을 생성할 수 있다.제조 시스템은 추가로 수정 프로파일을 프로세스 레시피에 적용함으로써 업데이트된 프로세스 레시피를 생성할 수 있다.제조 시스템은 추가로 업데이트된 프로세스 레시피에 따라 기판 상에서 식각 프로세스가 수행되게 할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020247024388
첨부파일

기업조회