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입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	한국표준과학연구원
출원번호	10-2013-0080447
출원일자	2013-07-09
공개번호	20140703
공개일자	2014-07-01
등록번호	10-1413287-0000
등록일자	2014-06-23
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 입자빔 소스로부터 방출되는 입자빔을 수신하여 2차전자를 방출하는 마이크로채널 플레이트; 상기 마이크로채널 플레이트로부터 생성된 2차전자를 수신하여 이를 광신호로 변환하는 형광스크린; 상기 형광스크린으로부터 방출되는 광 데이터를 수집하는 영상수집장치; 및 공간영역의 저주파 통과필터를 포함하여 이루이지며, 상기 영상수집장치로부터 얻어지는 데이타를 처리하여 영상화하는 영상처리장치;를 포함하는, 입자빔의 방출 이미지 획득 장치 및 이를 이용하여 입자빔의 방출 이미지를 획득하는 방법에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130080447
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