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유체 공급 라인의 이상 진단 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 후지킨
출원번호	10-2020-7010545
출원일자	2020-04-10
공개번호	20200514
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	[과제] 복수의 유체 제어 기기에 의해 구성되는 유체 공급 라인 전체의 동작으로부터 유체 제어 기기의 이상을 진단한다. [해결수단] 유체밀하게 연통하는 복수의 유체 제어 기기(F, V1, V2)로 이루어지는 유체 공급 라인의 이상을 진단하는 방법은, 유량 제어 장치 내 밸브(FV), 밸브(V1), 및 밸브(V2) 중 어느 하나 또는 복수의 밸브를 개폐하는 밸브 조작 공정과, 밸브(V1)로부터 유량 제어 장치를 개재하여 밸브(V2)에 이르는 유로(R1, R2) 내의 일부 또는 전부를 진공 상태 또는 가압 상태로 하는 압력 조정 공정과, 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해, 유량 제어 장치(F)의 유로 내의 경시적인 압력 특성을 취득하는 압력 검출 공정과, 압력 검출 기구(P1, P2)에 의해 취득된 이상 진단시의 압력 특성과, 동일 조건하에서 미리 측정된 정상시의 압력 특성을 대비하여, 이상의 유무를 판정하는 이상 판정 공정을 가진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020207010545
첨부파일

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