| 초록 |
본 발명은 화학 기계적 연마 장치의 캐리어 헤드의 압력 조절용 레귤레이터 및 이를 이용한 압력 조절 방법에 관한 것으로, 상기 압력 챔버에 공압을 공급하도록 정압 공급부로부터 연장된 공급관에 배치되어 상기 정압 공급부로부터 공급되는 유체의 공급을 개폐하는 메인 공급 밸브와; 상기 공급관으로부터 부압 공급부까지 분기된 제1분기관에 배치되어 상기 부압 공급부에 의해 회수되는 유체의 회수를 개폐하는 메인 해제 밸브와; 상기 공급관으로부터 대기까지 분기된 제2분기관에 배치되어, 상기 공급관을 통해 공급되는 유체를 상압 배기되도록 개폐하는 서브 해제 밸브와; 상기 메인 공급 밸브와 상기 메인 해제 밸브와 상기 서브 해제 밸브를 제어하여 상기 압력 챔버에 공급되는 압력을 제어하는 밸브 제어부를; 포함하여 구성되어, 화학 기계적 연마 공정 중에 압력 챔버의 압력이 설정 압력에 도달한 상태를 보다 정확하고 일정하게 유지할 수 있는 화학 기계적 연마 장치의 캐리어 헤드의 압력 조절용 레귤레이터 및 이를 이용한 압력 조절 방법을 제공한다. |
