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패터닝 공정에서 패턴을 결정하는 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.
출원번호	10-2024-7028809
출원일자	2024-08-27
공개번호	20240905
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	에칭 공정과 관련된 에칭 편향을 결정하도록 구성되는 기계 학습 모델을 트레이닝하는 방법이 개시되며, 상기 방법은 (ⅰ) 기판 상에 프린트될 타겟 패턴과 연계된 레지스트 패턴 데이터, (ⅱ) 타겟 패턴에 대한 에칭 공정의 영향들을 특성화하는 물리적 영향 데이터, 및 (ⅲ) 레지스트 패턴과 프린트된 기판 상에 형성되는 에칭된 패턴 사이의 측정된 편향을 획득하는 단계; 및 레지스트 패턴 데이터, 물리적 영향 데이터, 및 측정된 편향에 기초하여, 측정된 편향과 예측된 에칭 편향 간의 차이를 감소시키기 위해 기계 학습 모델을 트레이닝하는 단계를 포함하고, 기계 학습 모델은 기계 학습 모델의 제 1 층에서 레지스트 패턴 데이터를 수신하도록 구성되고, 기계 학습 모델의 상이한 층에서 물리적 영향 데이터를 수신하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020247028809
첨부파일

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