| 초록 |
패턴 데이터(202)에 따라 타겟(121)을 노광시키기 위한 마스크리스 리소그래피 시스템이 제공된다.시스템은 타겟을 노광시키기 위한 다수의 대전된 입자 빔렛들(132, 133)을 생성하기 위한 전자 광학 컬럼(102)을 포함하는데, 상기 전자 광학 컬럼은 빔렛들을 변조시키기 위한 빔렛 블랭커 어레이(117)를 포함하고, 상기 빔렛 블랭커 어레이는 빔렛 데이터 신호들을 수신하기 위한 다수의 수신기들(150) 및 데이터 신호들에 따라 빔렛들을 변조시키기 위한 다수의 빔렛 블랭커 엘리먼트들(152)을 포함한다.패턴화된 데이터를 저장하고 처리하기 위한 사전처리 시스템(140) 및 처리 시스템으로부터의 처리된 패턴 데이터를 빔렛 블랭커 엘리먼트들로 전송하기 위한 다수의 전송 채널들(240)을 포함하는 데이터 경로(101) 또한 포함한다.데이터 경로는 패턴 데이터를 수신하여 빔렛 데이터 신호들을 생성하기 위한 패턴 스트리밍 시스템(230), 및 패턴 데이터를 전송하기 위한 전송 채널들중 선택된 전송 채널들의 서브세트를 연결시키는 제 1 및 제 2 채널 선택기들(220, 230)을 더 포함하는데, 이때 상기 제 1 채널 선택기(220)는 사전처리 시스템과 전송 채널들 사이에 연결되고, 상기 제 2 채널 선택기(320)는 채널들과 빔렛 블랭커 엘리먼트들 사이에 연결된다. |
