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특허/실용신안

플라즈마 보조 물리 기상 증착원

특허 실용신안 개요

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기관명 NDSL
출원인 한국기초과학지원연구원
출원번호 10-2013-0009719
출원일자 2013-01-29
공개번호 20140807
공개일자 2014-08-21
등록번호 10-1432514-0000
등록일자 2014-08-14
권리구분 KPTN
초록 본 발명은 플라즈마를 이용한 물리 기상 증착원 관한 것으로서, 고진공에서 박막을 형성하는 열적 물리 기상 증착원(Thermal Physical Vapor Deposition)에 플라즈마를 결합하는 기술에 관한 것이다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130009719
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE
주제어 (키워드)