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기판반송장치

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2022-7002855
출원일자	2022-01-25
공개번호	20220309
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 기판반송장치는, 베이스와, 암과, 암의 선단에 설치되고, 두 갈래로 분기한 제1 선단부 및 제2 선단부를 가지는 엔드 이펙터와, 발광부와, 수광부와, 암의 동작을 제어하는 제어장치를 구비한다. 제어장치는, 엔드 이펙터의 선단을 직진하는 빛이, 전면 개방 통합 포드(FOUP)에 수용된 복수매의 기판의 테두리를 주사하도록 암의 동작을 제어함과 함께, 암의 동작 중에서 빛과 기판의 상대적인 위치관계에 따라, 수광부에서 연속적으로 변화하는 출력치의 측정파형의 형상 패턴과 비교용의 기준파형의 형상 패턴을 비교하고, 비교 결과에 기초하여, 기판의 상태, FOUP의 상태 및 엔드 이펙터의 상태 중 적어도 하나의 상태를 진단한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020227002855
첨부파일

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