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광학 분광 분석 장치 및 이를 구비한 플라즈마 처리 장치

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기관명	NDSL
출원인	연세대학교 산학협력단
출원번호	10-2020-0081155
출원일자	2020-07-01
공개번호	20200716
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	광학 분광 분석 장치 및 플라즈마 처리 장치가 개시된다. 본 발명의 실시 예에 따른 광학 분광 분석 장치는 플라즈마 공정 챔버 내의 광을 수집하기 위한 오목렌즈; 및 오목렌즈에 의해 수집된 광을 플라즈마 상태를 분석하기 위한 분석부로 전달하기 위한 광전달부를 포함한다. 오목렌즈는 광전달부로 제공될 플라즈마 공정 챔버 내의 광의 입사각 범위를 수평 방향으로 확장시키고 플라즈마 공정 챔버 내에 배치된 기판의 상부 영역의 광을 수집하도록 수평 방향으로의 곡률이 기판의 크기에 대응하는 광 입사각 범위를 갖는다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020200081155
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