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처리 시스템 및 디바이스 제조 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2021-7002955
출원일자	2021-01-28
공개번호	20210203
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	가요성을 가지는 장척의 시트 기판을 복수의 처리 장치 각각에 장척 방향을 따라서 순차적으로 반송함으로써, 시트 기판에 소정의 패턴을 형성하는 처리 시스템으로서, 복수의 처리 장치는, 시트 기판의 반송 방향에 관해서 상류측에 설치되고 제1 설정 조건에 근거하여 시트 기판을 처리하는 제1 처리 장치와, 하류측에 설치되고 제2 설정 조건에 근거하여 시트 기판을 처리하는 제2 처리 장치를 포함하고, 제1 처리 장치가 시트 기판에 실시한 처리 상태, 또는 처리 오차에 관한 제1 정보를, 시트 기판의 일부에 형성하는 제1 정보 형성 장치와, 시트 기판의 반송로 중에 마련된 정보 독해부에 의해서, 시트 기판에 형성된 제1 정보를 수집하는 정보 수집 장치와, 정보 수집 장치에 의해서 수집된 제1 정보에 근거하여, 제2 설정 조건을 수정하는 제어 장치를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020217002955
첨부파일

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