전계방출 주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | JEOL |
모델명 | JSM-6330F |
장비사양 | |
취득일자 | 1999-06-08 |
취득금액 |
보유기관명 | 포항공과대학교 |
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시설장비 설명 | 주사전자현미경은 전자선이 시료면 위를 주사(scanning)할 때 시료에서 발생되는 여러 가지 신호 중 그 발생확률이 가장 많은이차전자(secondary electron) 또는 반사전자(back scattered electron)를 검출하는 것으로 대상 시료를 관찰한다. 즉 투과형과 같이 시표전체에 전사선을 쏘이는게 아니고 주사형에서는 아주 작은 전자선으로 시료를 주사하고 전자선을 쏜 좌표의 정보에서 상을 구성하여 표시한다. 관찰시료는 높은 진공상태에서 그 표면의 전계 및 자계에서 섞인 전자선으로 주사한다. 주사는 직선적이지만 주사축을 순차적으로 틀어 가면서 시료표면전체의 정보를 얻는다.Application Microstructure and qualitative/quantitative analysis of chemical composition |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702068831.jpg |
장비위치주소 | 경북 포항시 남구 효자동 산27 포항공과대학교 제1공학관 1층 110호 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2001-04-039986 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0006350 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |