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장비 및 시설 기본정보
3차원 레이저현미경 및 표면조도측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Lasertec |
| 모델명 | VL2000D-M |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2002-01-25 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 재료연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 일반 광학계와 달리 두 개의 SCAN기구의 조합하여 XY축으로의 SCAN과 Z 축으로의 SCAN 이 두 SCAN기구가 거의 동시에 작동함 으로 인해 REAL TIME IMAGE의 실현이 가능하다.본 장비의 구성 및 성능은 부도체 관측시 코팅이 필요 없으므로 실상을 볼 수 있음. - 열에 약한 시료(plasticfilm)에도 열적 변형이 없음 - 대물렌즈 X150 사용할 때 총배율 X5400 까지 가능 - 화상처리 SOFTWARE가 있으므로 각종 데이터 처리 및 연산이 용이 - 필요에 따라 일반 OPTICAL MICROSCOPE로도 사용가능본 장비는 소재 및 부품의 형상측정 및 표면거칠기 측정에 이용됨. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201407/.thumb/2014070811327183.JPG |
| 장비위치주소 | 경남 창원시 성산구 상남동 66번지 재료연구소 연구 4동 2층 4209 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2002-05-041812 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0006604 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |