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장비 및 시설 기본정보
3D측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 나노시스템 |
| 모델명 | 개발장비 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-05-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 삼성테크윈 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F201 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 광간섭을 이용한 3차원 표면형상측정장비 -. 단색파장광을 이용한 광위상 간섭측정법과 격자간 간섭을 이용한 모아레 측정법을 사용하여 높은 분해능으로 고속 자동측정이 가능토록 한 장비 -. 평면방향으로는 기존 광학식 현미경의 분해능과 동등한 수준이나 광축인 수직방향으로는 nm이하의 분해능을 가지며 수nm 에서 수백um 까지의 다양한 높이를 높은 분해능으로 측정할 수 있으며 특히 카메라를 통하여 보이는 영역의 높이분포를 한번에 측정할 수 있는 특징을 가짐 -. 응용분야는 기판상의 비아홀 패드형상 표면 거칠기 측정 등에 이용할 수 있으며 측정환경 사용자 설정 및 측정결과 자동저장 통계해석 등이 가능한 장비임 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125192323.jpg |
| 장비위치주소 | 경남 창원시 성주동 42번지 삼성테크윈 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-136853 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024122 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |