| 보유기관명 |
광주과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C514 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
Semiconductor characterization system은 기판 위에 혹은 회로 위에 완성된 소자의 전기적 특성을 다양한 전기적 조건 하에서 측정하는데 사용되는 장비로써 전극이 연결된 형태의 소자나 혹은 probe station을 통해 연결되는 소자의 전기적 물성 연구에 중요한 장비이다. 이 계측 장비는 반도체 소자 물성의 가장 기본적인 측정 방법 중 하나인 전류-전압 간의 상관관계 또는 전압에 따른 전기 전도도를 측정하고 확보된 data의 처리를 수월히 할 수 있도록 설계되었기 때문에 많은 수의 반도체 소자를 제작하고 이들의 물성을 연구하여 통계적 트랜드를 연구하는데 있어서 매우 중요한 장비이다.반도체 소자의 전기적 물성 연구는 안정적으로 다양한 전압을 소자에 공급하고 공급된 전압에 따른 소자의 반응을 전류나 전도도의 형태로 측정하는 방식으로 진행된다. 이 장비를 사용함으로써 1) 안정되고 믿을 수 있는 입력값을 소자에 공급하고 2) 그에 따른 소자의 반응을 미세단위까지 측정함으로써 3) 보다 정밀도 높은 실험을 할 수 있는 환경을 구성할 수 있다. 또한 4) ultra-fast I-V module을 추가함으로써 추가적인 excitation이 있을 때의 소자의 반응을 연구할 수 있게 되어 측정의 자유도를 올리고 더 나아가 소자의 활용도를 증대시킬 수 있을 것으로 기대된다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/20140424165533469.jpg |
| 장비위치주소 |
광주 북구 오룡동 광주과학기술원 1 광주과학기술원 신소재공학동 2층 204호 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-04-161114 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0032765 |
| 첨부파일 |
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