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스퍼터2

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보유기관명	연세대학교 비아이티 마이크로 팹 센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C506
표준분류명	생산·공정장비,기타장비
시설장비 설명	D.C/R.F Magnetron Sputter 사용목적: 금속 박막 증착 가능함. 사용기판: 조각~4인치 웨이퍼, 6인치 웨이퍼는 개별문의 필요함. 증착물질: Pt, Au, Ni, Ta, Cr등 (Pt, Au 등 고가타겟은 재료비별도, 개별문의바람), 타겟(3인치) 구매시 증착 물질 변경 가능함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/KRD4MwceJSLGeqvSdJQr_w600.jpg
장비위치주소	서울 서대문구 연세로 50 첨단과학기술연구관 B206호
NFEC 등록번호	NFEC-2015-02-197628
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-YS_BIT-00014
첨부파일

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