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장비 및 시설 기본정보
플라즈마 에쳐
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 이디디 |
| 모델명 | E5 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-07-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 연세대학교 비아이티 마이크로 팹 센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 생산·공정장비,기타장비 |
| 시설장비 설명 | LAM research사의 RB4510 장비를 개조함. : Si-based semiconductor device fabrication(MOSFET, CMOS, PMOS, NMOS, MOS capacitor, Diode, MIM capacitor, Resistor, etc) : Microelecromechanical systems (MEMS), Nanoelectromechanical systems (NEMS), NE : Thin film transistor (TFT), Photonics (Light emitting diode-LED, AMOLED, etc), Organic electronic devices 등 산화막 및 질화막 미세 패턴을 포함하는 디바이스 제작에 활용가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/BEGyJpeUpHcsy9jSziUu_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 서대문구 연세로 50 첨단과학기술연구관 B206호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2008-08-065169 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-YS_BIT-00024 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |