나노스펙
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 케이맥(K-MAC) |
모델명 | ST-2000 |
장비사양 | |
취득일자 | 2005-08-29 |
취득금액 |
보유기관명 | 서울대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | F804 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 박막 두께 측정 Manual type의 형태 ST-2000 측정 박막 종류 Oxide on silicon Nitride on silicon Nitride on oxide Poly on oxide PR 시편 ~ 6” 까지 측정 가능 측정하고자 하는 시료의 박막 두께가 10nm미만 경우 담당기사에게 문의 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/9F85B85E36F042844925716F001E0338.jpg |
장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104동 (반도체공동연구소) 1층 C2-7 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-007919 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0001609 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |