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장비 및 시설 기본정보
박막태양전지 흡수층 제조용 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 유시스텍 |
| 모델명 | SiLLA-Hr-Co 4 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-09-30 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 영남대학교 대경태양전지지역혁신센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 생산·공정장비,물리·재료장비 |
| 시설장비 설명 | 4개의 스퍼터 건을 이용하여 동시에 여러물질을 증착시키는 장비임. 3개의 DC 스퍼터 건과 1개의 RF 스퍼터 건을 이용하여 CuGa & In, Mo 증착가능함. Pre-Cleaning 을 통한 glass 세정작업 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/1fTT0FiepDowYuxUvGy2_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 대경태양전지RIC CRC401호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-157482 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-YURIC-00022 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |