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장비 및 시설 기본정보
3차원 형상분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Zygo Corporation |
| 모델명 | NewView 6200 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-02-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 인하대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ■ specification 1. 측정방법 : Scanning white light and phase shifting interferometry 2. Vertical Scan Range : 150um optional up to 15mm 3. Resolution : - Vertical Res. Up to 0.1 nm - Lateral Res. 0.43 to 11.6um ; objective dependent 4. RMS Repeatability : <0.1nm RMSσ 5. FOV : 0.04~14mm ; Objective and zoom dependent.■ Application - 미세한 표면 형상측정 - LCD의 Photo Spacer의 높이 측정 - Color Filter의 RGB 높이 측정 - Glass 또는 Wafer의 Roughness 측정 및 Dust Inspection - 비구면 렌즈 또는 각종 금형의 Roughness 측정 - BLU의 Roughness 및 Angle 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201110/.thumb/20111020105409.gif |
| 장비위치주소 | 인천 남구 용현1,4동 인하대학교 253 인하대학교 6호관 지하1층 116 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-011715 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0002253 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |