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장비 및 시설 기본정보
엠에이 6 1
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Karl Suss |
| 모델명 | MA6 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2001-10-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 광학을 이용한 노광 장치 마이크로 패터닝 형성 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images// |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2019-01-248893 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201901249431?cloudId=200702080220 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |