X선광전자분광분석기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Thermo Fisher |
모델명 | K-Alpha |
장비사양 | |
취득일자 | 2009-10-26 |
취득금액 |
보유기관명 | 순천대학교 공동실험실습관 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | B521 |
표준분류명 | 물리·재료장비,화학·지구과학장비 |
시설장비 설명 | X-선이 에너지원으로 절연체에 적용이 가능하며, 도체 및 반도체 절연박막의 분석에 큰 장점을 가지고 있음. 시료 표면에 X-선 및 전자빔을 입사하여, 방출하는 광전자의 에너지를 측정함으로써 시료표면 조성 및 화학적인 결합상태 분석과 이온빔으로 표면을 식각하여 깊이에 따른 원자의 조성ㆍ결합 및 분포도 측정 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/l2LbaK63k3dP2cRSAylU_w600.jpg |
장비위치주소 | 순천대학교 공동실험실습관 301호 |
NFEC 등록번호 | |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-sc_gsk-00012 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |