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장비 및 시설 기본정보
2축 공기정압베어링식 스테이지
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Newport |
| 모델명 | DynamYX 300 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-02-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A0 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 안내면은 공기정압 베어링으로 구성되어 있음. X축 & Y축을 가진 2축 이송계로 X축 이송거리는 320 mm, Y축 이송거리는 240 mm이며 최소이송단위는 100 nm임..... |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/20150303105145712.jpg |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 대구융합기술연구센터 공장동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-01-025750 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-NTIS-0053777?cloudId=200702080222 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |