- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
금속식각장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Applied Materials |
| 모델명 | Centura5200 DPS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-05-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C510 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 구축 필요성 - 기 보유 중인 이종 Metal etcher인 ‘Oxford ICP380’의 경우 연구용 Manual 장치로서 금속 식각 재현성과 High quality를 요하는 NEMS 소자 공정과 High-K와 Noble metal 식각에서 Etch Depth CD bias Profile 및 CD Uniformity 등 제어가 어렵고 In-situ PR strip과 VDS 처리 시스템 미비로 Metal erosion 발생하고 있어 상기와 같이 문제 해결을 위한 전용 Metal Etcher을 구축함 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161025142528_20120330000000136639 NFEC-2012-03-160527.jpg |
| 장비위치주소 | 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-160527 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201902146319?cloudId=200711140047 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |