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장비 및 시설 기본정보
프로브스테이션
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 제오니스 |
| 모델명 | ZNS200S |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-05-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한양대학교 ERICA캠퍼스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C514 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Probe Card에 장착되어 있는 Probe Needle이 Wafer를 Contact하면서 Device의 전기적 특성을 측정하는 장비임.▷ Substrate Size: 4 6inch piece ▷ Wafer mapping & date store ▷ Joystick kit : X-Y-Z-T Control Index Scan Jog Three move mode ▷ Micro positioner : 200 TPI Magnetic type ▷ Probe tip :Tungsten Tip Diameter 0.020” ▷ Microscope OLYMPUS OEM stereo Zoom Scope : Basic ~ 90X Light Box Fiber Optic 전기적특성 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110829141227.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 안산시 상록구 사3동 한양대학교 1271번지 한양대학교 안산캠퍼스 제5공학관 3층 321 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-07-002031 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0000424 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |