박막용 마이크로파 PCD 측정시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | KOBELCO |
모델명 | LTA-1510EP |
장비사양 | |
취득일자 | 2012-06-29 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | D101 |
표준분류명 | 시험·검사장비 |
시설장비 설명 | 특징 본 장치는 Microwave PCD 방법을 사용함으로써, carrier recombination lifetime 측정에 사용됨. Full cell을 만들지 않고 제조된 흡수층 박막의 품질을 판단할 수 있으며, 공정 feed-back을 통하여, 공정개선에 활용할 수 있음. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/4USBKeCrURuEA8NvUmXe_w600.jpg |
장비위치주소 | 호남권지역본부 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2012-07-167884 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-kitech-00136 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |