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장비 및 시설 기본정보

전계방사형 주사전자현미경

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 Hitachi
모델명 S-4800
장비사양
취득일자 2011-02-22
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 한국에너지기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 A206
표준분류명 시험
시설장비 설명 - 분 해 능 : 1.0nm (15 kV) 1.5nm (1 kV) - 배 율 : 20~Х800,000x 이상 - 가 속 전 압 :0.5 - 30kV 이상 - 전 자 총 : 냉각형 전계 방사형 빔 발생 장치 - 렌 즈 부 : 3 단 전자장 렌즈 원추형 대물렌즈 - 대 물 렌 즈 조리개 : 가변식 4단 - 비점장치 : 8극 전자장식 (X, Y) - 사 코 일 : 2단 전자장식 빔 편향장치 - 전 류 량 : 1pA ~ 2nA 이상 - 시료대 3축 이상 자동 조작 장치 - 회전 : 360˚ (연속) - 최대 시료크기 : 100mm 혹은 그이상 (draw-out) - EDAX검출 범위 : 4Be 부터 94 Pu 또는 그 이상 검출기 영역 : 20㎟ Silicon Drift Detector (LN2 free type) 피크 분해능 (Mn Ka) : 129eV 또는 그 이상
장비이미지코드 https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201103/20110330104624.JPG
장비위치주소 한국에너지기술연구원 제3연구동
NFEC 등록번호 NFEC-2011-03-145268
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201904118558?cloudId=200702080231
첨부파일

추가정보

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과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)