전계방사형 주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | Hitachi |
모델명 | S-4800 |
장비사양 | |
취득일자 | 2011-02-22 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | 시험 |
시설장비 설명 | - 분 해 능 : 1.0nm (15 kV) 1.5nm (1 kV) - 배 율 : 20~Х800,000x 이상 - 가 속 전 압 :0.5 - 30kV 이상 - 전 자 총 : 냉각형 전계 방사형 빔 발생 장치 - 렌 즈 부 : 3 단 전자장 렌즈 원추형 대물렌즈 - 대 물 렌 즈 조리개 : 가변식 4단 - 비점장치 : 8극 전자장식 (X, Y) - 사 코 일 : 2단 전자장식 빔 편향장치 - 전 류 량 : 1pA ~ 2nA 이상 - 시료대 3축 이상 자동 조작 장치 - 회전 : 360˚ (연속) - 최대 시료크기 : 100mm 혹은 그이상 (draw-out) - EDAX검출 범위 : 4Be 부터 94 Pu 또는 그 이상 검출기 영역 : 20㎟ Silicon Drift Detector (LN2 free type) 피크 분해능 (Mn Ka) : 129eV 또는 그 이상 |
장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201103/20110330104624.JPG |
장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 제3연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2011-03-145268 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201904118558?cloudId=200702080231 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |