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장비 및 시설 기본정보
접속 이온 빔 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | Nova 600 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-03-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A200 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. Nova 600 (FP 2067/31) - Workstation with Windows 2000 - 2 x 18" LCD Dual Monitor - Support PC - Sirion Electron Column - Magnum Ion Column - 150 x 150 mm Eucentric stage - CCD IR Camera - TL-SE Detector - TL-BSE Detector - ET-SE Detector - Oil-free pumping system - Table Top with Support 2. Gas Injection System with Pt Deposition (FP 3400/30) 3. CDEM Detector (FP 3440/00) 4. Auto FIB (FP 3550/00) 5. Auto TEM (FP 3550/10) 6. UMB Stub Holder Kit (FP 3660/00) 7. UMB FIB/TEM Specimen Kit (FP 3660/05) 8. Micro-Manipulator- 나노재료의 미세구조 관찰: 영상분해능 1.1 nm (고분해능 표면형상 관찰) - 3차원적 미세구조 분석: 연속적 단면 밀링으로 내부 조직을 분석 - 나노 영역의 화학분석: 박편 가공을 통한 공간분해능 향상 가능 - 나노영역의 특성 측정: 선택영역의 가공 후 전기적 특성 측정 가능 - 나노소자의 제작: 이온 빔 밀링을 통한 3차원적 나노 소자 제조 - 나노소자의 제작: 이온 빔 증착 또는 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/2013102495225899.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 성북구 하월곡동 39-1 한국과학기술연구원 L5 1층 5115 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2005-04-014745 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0002832 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |