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장비 및 시설 기본정보
헬륨누설분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | ULVAC |
| 모델명 | HELIOT 700 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-10 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 자장편향형 질량분석계의 원리를 이용하여 HELIUM 검출을 행함 Select Free Flow 방식의 전용배기계를 탑재 Valve 조작 : Touch Panel의 원터치 조작에 의해 기동 Tesdt 조작 기기정지에 이르기까지 내부 Valve를 포함하여 모두 자동으로 제어 최소검출LEAK량 : 10-13 Pa.m3/s 분석관 : 자장90도편향형 질량분석관 진공배기계 MAIN : 복합분자 PUMP 25L/sec 진공배기계 FORE : ROTARY PUMP 30L/min 진공계 : PIRANI 진공계 WP-01+GP-1000H 시동시간 : 3min - 정지시간 : 3min - 입출력 : RS 232C 입출력 /LEAK RATE 접점출력 3점 / LEAK HELIOT 기동정지신호입력 등 활용분야 반도체 공정시 He 측정/검사 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/20140404135258405.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 북구 산격3동 경북대학교 1370 경북대학교 반도체연구동 지하1층 B104 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-017286 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0003411 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |