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장비 및 시설 기본정보
IR 맵핑 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Nikon |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-01-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 화합물 반도체 제작에 사용되는 장비임. 성장된 반도체의 Defect의 관찰을 위해 사용하며 광학용 대물렌즈를 사용하여 시료를 최소 10X 최대 100X 관찰 가능하며 IR 카메라를 이용함으로써 육안관찰뿐만 아니라 두께별 Defect mapping이 가능한 장비임. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201401/20140121134318363.JPG |
| 장비위치주소 | 한국원자력연구원 첨단방사선연구소 싸이클로트론동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-01-185139 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201904118619?cloudId=201306077068 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |