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장비 및 시설 기본정보
알루미늄 스퍼터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Korea vacuum |
| 모델명 | KVS-T3538 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1994-12-31 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 전기및전자공학과 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | 물리·재료장비 |
| 시설장비 설명 | RF나 DC전압을 인가하여 플라즈마를 형성하여 Target 금속에 플라즈마 이온으로 충돌을 통해 wafer 위에 해당 금속 물질을 증착 시키는 장비이며 보통 Al, Ti, Ni, BST 등이 증착 물질로 사용 된다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/zBdfmaCOinoYvIvvPeFm_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술원 미래융합소자동 (E3-3) 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-190201 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-KAIST_EE-00017 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |