| 보유기관명 |
한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A206 |
| 표준분류명 |
계측 |
| 시설장비 설명 |
특징 MEMS 및 NANO공정을 수행하는데 적합하다. 또한 정밀한 제어가 가능하여 초소형 미세 구조물을 측정하는데 널리 활용될 수 있다. 구성및성능 반도체 공정용 금속막과 산화막등 다양한 박막을 패터닝 한 후 미세구조물을 정밀하게 관측 측정 할 수 있는 장비 |
| 장비이미지코드 |
https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160922142205_200702075694 NFEC-2006-07-043168.jpg |
| 장비위치주소 |
한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2006-07-043168 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-KIST_Fab-00024?cloudId=201411165705 |
| 첨부파일 |
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