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장비 및 시설 기본정보
D-SIMS
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cameca |
| 모델명 | IMS-4FE7 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-09-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B605 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 특징 - AES XPS 그리고 Static SIMS도 깊이방향의 원소분포분석이 가능하지만 Dynamic SIMS는 보다 많은 이온으로 깊이방향 분석을 수행하기 때문에 분석시간이 상대적으로 짧아 단층 깊이에 대한 정보를 신속히 얻을 수 있는 장점이 있다. 또한 Static SIMS와 달리 분석하고자 하는 이온을 연속적으로 검출하기 때문에 수 ppm의 검출한계를 가지는 장점이 있다. 또 ESA(Electrostatic Analyzer)와 Magnetic Sector가 이중으로 달려있어 높은 질량 분해능을 실현할 수 있다. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20160921142109_200702076031 NFEC-2006-09-042989.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L5) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-09-042989 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/cloud/resvEq/read/Z-201902125959?cloudId=200702080220 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |