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장비 및 시설 기본정보
자동열탈착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Perkin Elmer |
| 모델명 | TurboMatrix Thermal Desorber |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 에프아이티아이시험연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1.Automated Thermal Desorption System 1)Direct connect to GC 2)Wide volatility range capability (Up to C36) 3)Controlled by personal integrator software 4)Atomospheric monitoring 5)Purgeable volatiles in water 6)The determination of volatiles in solids대기 및 실내공기 중 VOCs 분석 산업용 섬유의 가공제 혹은 처리과정에서 잔류하게 되는 휘발성 유기화합물의 확인을 요구하는 바이어(특히 유럽)가 많았지만 시험기기의 미보유로 측정이 불가하였음. 본 사업으로 측정불가한 시험이 가능화되어 수출 산업체의 편의성이 증진됨. TDS : Thermal desorption spectroscopy(TDS)는 고체표면에 이온 상태로 흡착되어 있던 기체들이 표면 온도 변화에 따라 탈착되는 가스들의 mass spectrum을 측정함으로써 표면상태를 분석하는 기술이다. . 보통 throughput 방식 측정 장치에 온도 조절장치를 부가하여 구성된다. 현재 TDS는 크게 두 개 분야에서 각광을 받고 있다. 그 첫 번째는 outgassing을 제어하고자 하는 분야이다. 고진공에 도달하기 위해서 혹은 고순수를 요구하는 process용으로 개발된 재료나 새로운 방법으로 처리된 재질에 대한 평가 수단으로 TDS가 쓰이고 있다. 상온에서의 outgassing 측정은 outgassing되는 절대양이 적으므로 큰 규모의 시료를 만들고 이로부터 생기는 outgassing을 모아서 측정해야 하나 TDS 방법은 작은 시료만으로도 outgassing성질 예측이 가능하다. 그뿐 아니라 생산공정이나 장비 운용시 직접적으로 열에 의한 영향을 받는 진공 시스템에 사용될 재질의 평가를 위한 매우 유용한 분석 수단이 된다. 측정 시료의 크기나 가공에 제한을 받는 경우에도 TDS가 유용한 분석방법이 된다. TDS는 기체 흡탈착을 증폭시켜 미세량까지도 분석이 가능하며 정량화가 되고 시료의 기하학적인 모양에 덜 영향을 받는 장점이 있으므로 화학적 청정도 device 제조 공정에서의 오염원 분석 등에도 이용한다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/195874536E09BDEE49256E37000DDB0D.jpg |
| 장비위치주소 | 충북 청원군 오창읍 양청리 686-1 에프아이티아이시험연구원 오창연구센터 2층 유기분석시험실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-015886 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0003093 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |