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장비 및 시설 기본정보
유도결합형 플라즈마 화학기상증착장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | BMR |
| 모델명 | Basic HiDep-LxD |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-06-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주나노기술집적센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B507 |
| 표준분류명 | 생산·공정장비 |
| 시설장비 설명 | 유도전압 플라즈마를 이용하여 저온에서 보호막이나 절연막을 성장시키는 장비 이온밀도를 높이고 이온입자들에 방향성 향상 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/F9YazsuPcG11c6G5buQT_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 호남권지역본부 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047427 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-kitech_ncne-00007 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |