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전자선 고진공 증착장치

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보유기관명	한국과학기술연구원 마이크로나노팹센터
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C504
표준분류명	시험·검사장비
시설장비 설명	MEMS 구조물을 제작하는 필수적인 공정장비임. 전자들이 갖는 운동에너지가 국부적으로 섭씨 3000도가 넘는 높은 열을 낼 수 있음. 증발 압력이 낮은 물질도 열 증착법에 비해 상대적으로 쉽게 증발시킬 수 있는 특징을 갖고 있는 MEMS공정에 사용되는 전자선 고진공 증착 장치임. Au, Pt, Al, Ti, C등과 같은 물질을 Electron Beam을 이용하여 박막을 wafer상에 증착할 수 있는 장비임.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/IK6IdDGSSfNEwUzPVJ1H_w600.jpg
장비위치주소	KIST L6122호
NFEC 등록번호	NFEC-2002-08-040591
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-KIST_Fab-00021
첨부파일

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