플라즈마 식각장치
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | KAMI |
모델명 | V15-G |
장비사양 | |
취득일자 | 1997-12-24 |
취득금액 |
보유기관명 | 서울대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | Process Chamber: 250×250×250㎣ 2.45GHz Microwave Generator (400W) Process Gas: O2 (Maximum 200sccm)PR 제거 장비 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/249192E59AAC5B9849256D2B00250BB0.jpg |
장비위치주소 | 서울 관악구 대학동 서울대학교 산 56-1 서울대학교 104동 (반도체공동연구소) 지하1층 창고 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-011993 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0002324 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |