| 보유기관명 |
수원대학교 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
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| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
urce : DC 4kW 30mA Substrate size : 4"Φpiece Main pressure : 5×10-5 torr Control type : ManualDC 고전압을 인가하여 고진공에서 thermal evaporation 방식으로 선택한 source를 기화시켜 증발된 원자가 상대적으로 저온을 유지하고 있는 기판위에 응축됨으로 원하는 박막을 형성시키는 장비이다. 전자부품용 electrode 증착 및 산화물 증착 공정을 수행하는데 사용된다. |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/itep200710/.thumb/1153926282_1.jpg |
| 장비위치주소 |
경기 화성시 봉담읍 와우리 수원대학교 산2-2번지 수원대학교 고운첨단과학기술연구원 6층 604호 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2007-10-001118 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0000254 |
| 첨부파일 |
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