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장비 및 시설 기본정보
드라이 퍼네이스
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 피에스티 |
| 모델명 | Melitas M15VH |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-05-08 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 연세대학교 비아이티 마이크로 팹 센터 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C523 |
| 표준분류명 | 생산·공정장비,기타장비 |
| 시설장비 설명 | Si-based semiconductor device fabrication(MOSFET, CMOS, PMOS, NMOS, MOS capacitor, Resistor, NAND Flash, etc) Horizontal type의 batch process용 furnace Microelecromechanical systems (MEMS), Nanoelectromechanical systems (NEMS), Thin film transistor (TFT), Photonics (Light emitting diode-LED, AMOLED, etc), 등 게이트산화막 또는 고온열처리를 포함하는 디바이스 제작에 활용가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images/equip/photo/.thumb/bpnfGDyiMG00TtxF7MqO_w600.jpg |
| 장비위치주소 | 서울 서대문구 연세로 50 첨단과학기술연구관 B206호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-012125 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-YS_BIT-00004 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |