| 시설장비 설명 |
특징 1. Laser를 이용한 비접촉식 진동측정장비로서 측정 range는 최대 5.210mm 위치측정해상도가 2nm 속도측정 범위가 1~1000mm/s이며 위치와속도를 동시에 측정할 수 있는 장비로서 MEMS 관련 연구에 많이 사용되고 있는 장비임. 2. 기존의 접촉식 Sensor는 설치시간이 오래 걸리는 것과 이에 따른 인력 손실이 큰 단점이 있는 반면 Laser Vibrometer는 설치가 용이하고 측정된 Data의 신뢰성이 높은 장점이 있음. 3. 마이크로매니퓰레이 션 과제에서 수행하고 있는 세포 조작작업 자동화에 사용할 마이크로 엑츄에이터 마이크로 로봇 마이크로 피펫 개발시 개발 시작품의 dynamic 특 성 (servoing시의 resonance frequency positioning accuracy oscillation settling time drift error 등의 측정)을 측정하여 개발시 작품의 성 능평가에 적용하고자 함. 4. 바이오 매니퓰레이션 시스템의 안정적인 동작을 줄 수 있도록 시스템 전체의 동적 진동 경향 방진 테이블의 제진능 력 등 시스템 전체의 진동 특성 분석에 본 장치를 활용하고자 함. 구성및성능 1. Vibrometer Controller 2. Dual fiber (diffrential) interferometer 3. Flexible arm with magnetic base |
