주사전자현미경
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Philips |
모델명 | XL30SFEG |
장비사양 | |
취득일자 | 2001-02-28 |
취득금액 |
보유기관명 | 동국대학교 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 전자를 주사하여 재료에 입사되어 나오는 2차전자를 수집하여 재료의 형태 및 성질을 조사.초고 분해능을 가진 최신전자 현미 경 및 EDX와 같은 물질을 측정하고 CL과 같은 전자충돌에 의한 발광을 이용하여 재료를 분석 반도체 재료 및 회로의 형태를 관측 가능 초미세 물질의 상태를 관측가능 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/20131028135936690.jpg |
장비위치주소 | 서울 중구 필동3가 동국대학교 26-1 동국대학교 다향관 2층 양자기능반도체연구센터 전자분광실(302-226) |
NFEC 등록번호 | NFEC-2001-05-003768 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0000734 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |