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장비 및 시설 기본정보
섬유 용 열/플라즈마 처리 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(Korea Va |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-07-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C527 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 진공 분위기에서 ICP 방식의 플라즈마 방전과 가열을 통해 PECVD 등의 공정이 수행가능하며, 추가적인 부품 제작/장착에 의해 섬유에 대한 열/플라즈마 처리가 가능한 섬유 용 열/플라즈마 처리 장비Rotary pump가 구비되어 있으며, 추후 Turbo molecular pump 추가 장착 가능, Matching box와 13.56 MHz Power supply 내재. 두 개의 진공 챔버와 연결되어 Loadlock chamber 방식의 샘플 로드 가능- 섬유의 강도를 향상시키기 위해, 플라즈마를 이용한 표면 처리로 강도를 향상 시키거나 섬유 사이 결합력을 향상시키기 위해 표면에 N, COOH 등 기능기 도입함. - Diamond like 박막 성장에 사용함 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201410/.thumb/20141030132729366.JPG |
| 장비위치주소 | 전북 완주군 봉동읍 은하리 산101번지 전북분원 한국과학기술연구원 전북분원 연구동 3층 R1364 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-11-192904 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0045677 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |