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장비 및 시설 기본정보
열산화막/기상증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아펙스 |
| 모델명 | APEX |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2001-01-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C523 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 고온에서 산화막을 형성하고, 또한 저압기상증착 방식을 이용하여 질화막과 폴리실콘박막을 증착하는 장치 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images// |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2019-01-248894 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201901247537 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |